ASTM F1982-1999e1 用热解吸气相色谱法分析硅晶表面有机污染物的标准试验方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-24 22:42:21  浏览:8397   来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardTestMethodsforAnalyzingOrganicContaminantsonSiliconWaferSurfacesbyThermalDesorptionGasChromatography
【原文标准名称】:用热解吸气相色谱法分析硅晶表面有机污染物的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1982-1999e1
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1999
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:气相色谱法;质谱仪;原子放射探测器;火焰离子探测器;硅晶片表面热解吸;火焰光电探测器;中子/磷热离子探测器;有机污染物;有机磷化合物;磷选择性探测器
【英文主题词】:atomicemissiondetector(AED);flameionizationdetector(FID);flamephotometricdetector(FPD);gaschromatography;massspectrometer(MS);nitrogen/phosphorusthermionicdetector(NPD);organiccontamination;organophosphoruscompounds;phosphorusselec
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thesetestmethodscovertheidentificationandquantificationoforganiccontaminantsonsiliconwafersurfacesusingagaschromatographinterfacedtoamassspectrometer(GC-MS)
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:7P.;A4
【正文语种】: