ASTM F80-1994 用蚀刻技术作硅的外延沉积物的结晶完整性的测试方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-26 17:29:07  浏览:9555   来源:标准资料网

【英文标准名称】:TestMethodforCrystallographicPerfectionofEpitaxialDepositsofSiliconbyEtchingTechniques
【原文标准名称】:用蚀刻技术作硅的外延沉积物的结晶完整性的测试方法
【标准号】:ASTMF80-1994
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1994
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:刻蚀技术;电子工程;沉积物;硅;处理;试验
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:
【正文语种】: